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这也是EUV光,刻,机中最难的步骤。】
【简单来说就是需要用20千瓦的激光从三层楼的高度,照射真空环境中的液态锡珠,这些锡珠的直径只有头发丝的三分之一,并一直处于自由下落的状态。】
【激光脉冲需要以每秒5万次的频率去轰击这些锡珠,让它们瞬间气化蒸发成等离子体。】
【这些等离子体发出的极紫外光进入到聚光镜中被采集。】
【光学系统通过多个反射镜和反射式光学元件,将13.5纳米的极紫外光束聚焦到掩膜上。】
【掩膜上的芯片通过光学系统的投影功能,被投射到涂有光刻胶的硅片上。】
【当光刻胶受到极紫外光的照射后会溶胶,在显影过程中出现可溶解和不溶解的区域,从而在硅片上形成精确的图案。】
【在这个过程中,光源每反射一次就会折损30%,最后只有大约2%的极紫外光能到达硅晶圆上。】
【其中最难的部分,除了轰击锡珠生成极紫外光,还需要具备高精度的光学设备。】
麻了。
已经完全看麻了!
大唐位面,虽然听不懂那些玄之又玄的专业术语,听不懂什么叫做光刻胶,不懂什么叫做硅晶圆。
但光光是第一步的轰击锡珠,就让李二震惊的头皮发麻!
“从三层楼的高度,以每秒5万次的频率进行轰击?”
“而且目标居然只有头发丝的三分之一?”
“这......这怎么可能做到!”
李二扯下一根头发,看着那已经细得不能再细的发丝,他完全无法想象。
后人是怎么控制光线,去轰击比头发还细的东西的!
而且还是每秒五万次!
而且还是距离十几米!
等等......他们还会控制光!
不止是李二,其他古人们在光,刻,机工艺的第一步就沦陷了。
这种完全超乎他们认知的手段,简直比传说中的仙人还仙人!
嬴政喃喃道:“莫非后世都已经全进化成仙人了不成?如此手段,闻所未闻!”
刘彻傻眼了:“这是人能干出的事?”
曹操呆了一呆:“不可能!绝对不可能!”
刘备只感觉遍体生寒:“竟然连光都能控制,我不是在做梦吧?”
老朱懵了一下,随即脑洞大开!
“每秒五万次?”