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在高分辨率的光刻机上也能达到十倍吗?
如果能,那岂不是可以直接实现3nm级别的工艺了?直接赶上全世界最先进制程!
“想什么呢?”纪弘一笑:“这玩意跟芯片制造本身一样,分辨率越高越困难。但是……”
“但是什么?”纪弘没想大喘气,就是稍微顿了一下,于东直接就破不接待的接上了。
“现在的所谓5nm,3nm什么的也不是实际线宽呐,都是所谓的等效。所以,实际能做到什么程度,还得试过才知道。”
“我还有一个问题。”于东问道:“你们这个产线,光刻机是经过一定程度改造的吧?如果硬件不满足需求,光靠AI不能行吧?”
“嗯。”纪弘没有否认,也没必要,一看就知道,用到了机器视觉,不改造的尼康老光刻机哪有这玩意儿啊!
改造二手低端光刻机,国内有成型的产业链和相关企业,但是改造阿斯麦28nm的光刻机,谁来?
其实还是那句话:你都这么干了,为什么不直接提高光刻机的精度呢?难度其实差不多。
“所以,没法搞?”于东笑了笑,他知道纪弘肯定有想法,要不然带自己来这里的意义是什么呢?
“我让你看工业AI训练成果的!”纪弘无语道:“尼康的老光刻机硬件基础太差了,我们才需要大幅度的改造硬件以满足我们系统智能化的需求。
“但是阿斯麦的高端光刻机不需要吧?硬件本身是足够强大的!”
“只需要改造系统?”于东瞬间明悟。
“大概率。”到了这个程度,纪弘没有什么隐瞒:“但能不能达到十倍不好说。只能说,实现真正的5nm,不会有问题。”
“包括沪上微电子的S800系列,我推测,硬件系统都是足够的,要不然也不会一直在验证,而且年年发明年交货。精度不够,或者良率提不上来,大概率也跟系统有关。”
刘向东院士走之前跟纪弘说了很多,包括验证机良率的问题,无法交付的原因。
用刘向东院士的话说,单个部件拆下来去测试,所有的部件都是符合设计要求甚至是超出的,但是组装到一起,就是达不到预期的效果。
这不是系统控制问题还能是啥问题?
光刻机的整机系统以及各个子系统的控制系统,确实是一个非常庞大且复杂的东西,甚至比硬件本身都要复杂。
但这对于卷耳智能科技